根據不同的技術,我們將真空泵分為八種類型:
油潤滑旋片真空泵
旋片技術有助簡化真空泵的結構, 循環油潤滑、協調一致的材料以及先進精密的制造確保持續運行中的穩定高真空水平。標配的油霧分離箱,具備集成式回油管的精密抽取系統,確保排氣清潔、無油。如配備氣鎮閥(選配),還可處理大量蒸汽。入口法蘭的止回閥,可以防止氣體在真空泵關閉期間流回真空腔室。
干式爪式真空泵
兩個爪形轉子在爪式真空泵殼體內以相反的方向轉動, 憑借這對轉子的形狀,吸入、壓縮以及排出空氣或氣體。爪式轉子在旋轉過程中,既不相互接觸,也不與其所處的泵缸接觸。爪式轉子和機殼之間的緊密間隙,優化了內部密封,保證恒定的高泵速, 同步變速箱確保兩個爪形轉子精確同步。
干式螺桿真空
干式螺桿真空泵利用兩套旋轉方向相反的螺桿轉子工作, 泵送介質在各爪形轉子之間被截留,經壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過程中,螺桿轉子不相互接觸,也不與泵缸接觸, 這意味著壓縮室無需潤滑劑或工作液。
羅茨泵
在羅茨泵的外殼內,兩個凸輪轉子同步旋轉。由于轉子具有特殊輪廓且采用精密工藝制造,它們不會彼此觸碰或觸碰到殼體, 這樣無需借助任何工作液即可泵送介質。兩個凸輪轉子由位于齒輪箱軸端,并與壓縮腔室分離的一對齒輪副驅動。
干式旋片真空泵
這些真空泵采用成熟的旋片技術, 借助于自潤滑旋片,無需使用工作液。壓縮過程以干式運行方式進行, 通過各種材料的充分協調、壓縮室配備的特殊石墨葉片、有效的排熱以及采用的最新精密制造技術,共同保證了連續供應且始終如一的高真空度。
液環真空泵
液環真空泵配備有偏置葉輪, 液環由在泵殼內同心旋轉的工作液(通常是水)形成。工藝氣體從進氣口進入,在葉輪片之間傳送并被壓縮,之后通過排氣口排出,還會伴隨一些工作液。液環真空泵既可作為一次通過系統運行,還可作為部分或全循環系統運行。
渦旋真空泵
渦旋真空泵由一個固定渦旋和一個動渦旋構成, 當動渦旋運動時,真空泵入口處會形成真空,吸入氣體。通過轉子的運動,氣體被持續壓縮,直到最后被排出。
擴散真空泵
擴散真空泵結構包含一個連接到中央多階段噴氣式配件的燃油鍋爐。加熱后的油以超音速從噴氣式配件中噴射出來,處理氣體分子被置入油噴氣流,并通過泵體由更重的油分子動量完成轉化。該工藝將氣體分子從低壓入口法蘭移向擴散泵的前端真空口,油在此處匯集并返回鍋爐,工藝氣體分子被前級泵移除。