擴散泵油的性質對擴散泵的抽氣性能影響特別大，因而對擴散泵油的基本要求是：

1）泵油的分子量要大；

2）為了降低泵的極限壓力，要求泵油在常溫下得飽和蒸汽壓要低；

3）為了使泵能在較高的出口壓力下工作，要求泵油在沸騰溫度下得飽和蒸汽壓應盡可能大；

4）泵油的熱穩定性（高溫下不易分解）和抗氧化性能（與大氣接觸時不會因氧化改變泵油的性能）要好；凝固點和低溫黏度要低；而且還要無毒、耐腐蝕、成本低。

泵油對極限壓力的影響

        泵油的種類和成分對泵的極限壓力影響很大，在結構相同的擴散泵中，如果使用3號擴散泵油，其極限壓力只能達到10-5帕；而改用275號硅油，其極限壓力能達到10-7帕，極限壓力可降低兩個數量級。

        真空系統中被抽氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化，這就是泵油成分所帶來的影響。例如，油擴散泵抽氣系統中不加特殊措施很難獲得較清潔的真空。泵油的飽和蒸氣壓為了獲取高真空，希望泵油在常溫下有較低的飽和蒸氣壓。同時又要求泵在較高的出口壓力下工作，希望泵油在鍋爐溫度下有較高的飽和蒸氣壓。因此，最適合擴散泵工作的泵油其飽和蒸氣壓隨溫度變化的關系曲線的斜度要大。